Lựa chọn công suất và tần số làm sạch siêu âm trong công nghệ bán dẫn

Lựa chọn tần số máy làm sạch siêu âm:

Kích thước của tần số siêu âm là sự phản ánh của năng lượng siêu âm và tần số áp dụng cho bụi bẩn có kích thước khác nhau là khác nhau. Các tần số khác nhau nhắm đến các kích thước hạt khác nhau, xem bảng bên dưới để biết chi tiết

Sự khác biệt giữa tần số siêu âm 28kHz và 40kHz

Tần số siêu âm (KHz) Làm sạch kích thước hạt chất gây ô nhiễm
25KHz-28KHz Lớn hơn 5 micron
40KHz 2~50 micron
68KHz 1~5 micron
80KHz 1~5 micron
120KHz 0,5~3 micron
175KHz 0,2~1,5 micron
200KHz 0,2 ~ 1,0 micron
950KHz 0,1-0,3 micron

Các tần số làm sạch siêu âm khác nhau có những ưu điểm và nhược điểm khác nhau. Việc chọn tần số siêu âm thích hợp có tác động .

Cơ sở lựa chọn đại khái như sau:

  • Siêu âm tần số thấp có thể làm sạch các tấm wafer silicon rất bẩn và có khả năng làm sạch mạnh, nhưng nó cũng có thể dễ dàng làm hỏng tấm wafer silicon
  • Siêu âm tần số cao có thể làm sạch những vết bẩn nhỏ nhưng silicon rất bẩn; chất gây ô nhiễm wafer không thể được làm sạch.

Lựa chọn công suất máy làm sạch siêu âm:

Hiệu quả của việc làm sạch bằng siêu âm không nhất thiết tỷ lệ thuận với (công suất × thời gian làm sạch). Đôi khi, ngay cả với công suất thấp, bụi bẩn cũng không thể được loại bỏ sau một thời gian dài. Và nếu công suất đạt đến một giá trị nhất định thì đôi khi bụi bẩn sẽ bị loại bỏ nhanh chóng. Nếu công suất được chọn quá cao, cường độ tạo bọt sẽ tăng lên rất nhiều và hiệu quả làm sạch sẽ được cải thiện.

Tuy nhiên, lúc này các bộ phận chính xác hơn cũng sẽ có các vết ăn mòn. Hơn nữa, hiện tượng tạo bọt sẽ không đáng có, trên tấm rung ở đáy bể làm sạch sẽ nghiêm trọng và sự ăn mòn điểm nước cũng sẽ tăng lên. Khi sử dụng các dung môi hữu cơ như trichloroethylene về cơ bản không có vấn đề gì. Tuy nhiên, khi sử dụng nước hoặc dung dịch tẩy rửa hòa tan trong nước, nó dễ bị ăn mòn điểm nước. Nếu bề mặt của tấm rung bị sẹo, hiện tượng ăn mòn xâm thực sẽ xảy ra trong nước dưới công suất cao, do đó nên chọn công suất siêu âm theo mức sử dụng thực tế.

 

Để lại một bình luận

Email của bạn sẽ không được hiển thị công khai. Các trường bắt buộc được đánh dấu *