Máy phát siêu âm, còn được gọi là bộ nguồn siêu âm là một phần quan trọng của hệ thống siêu âm công suất cao. Chức năng của máy phát siêu âm là chuyển đổi nguồn điện lưới thành tín hiệu dòng điện xoay chiều tần số cao phù hợp với đầu dò siêu âm và điều khiển đầu dò siêu âm hoạt động. Nguồn siêu âm công suất cao thường áp dụng dạng mạch chuyển đổi nguồn điện xét về hiệu suất chuyển đổi.
Máy phát siêu âm là thành phần chính của bể rửa siêu âm. Thành phần này nhận năng lượng và chuyển đổi nó thành dạng thích hợp để cấp nguồn cho đầu dò ở tần số mong muốn. Tần số điện tiêu chuẩn là 50Hz và 60 Hz. Vì dải tần siêu âm là 25kHz trở lên nên tần số nguồn điện phải được thay đổi thành dải thích hợp, tùy thuộc vào loại chất bẩn cần loại bỏ và độ bền cơ học của bộ phận cần làm sạch. Tần số siêu âm thấp hơn có xu hướng hình thành các bong bóng khí lớn hơn, dẫn đến dao động và áp suất mạnh hơn, thích hợp cho các bộ phận có độ bền cao. Tần số cao hơn thì phù hợp làm sạch các bộ phận nhỏ, mỏng manh như chất bán dẫn và đồ trang sức. Nói chung, máy phát siêu âm chỉ có thể cung cấp tần số cố định, nhưng máy phát siêu âm Ultratech có thể cung cấp nhiều mức tần số khác nhau.
Công suất đầu ra: Khi điện áp kết nối của máy phát siêu âm thay đổi thì công suất đầu ra của máy phát siêu âm cũng sẽ thay đổi. Độ rung cơ học của đầu dò siêu âm không ổn định, dẫn đến kết quả làm việc kém. Do đó, cần có công suất đầu ra ổn định và bộ khuếch đại được điều chỉnh thông qua tín hiệu phản hồi nguồn để ổn định bộ khuếch đại công suất.
Theo dõi tần số: Đầu dò hoạt động với hiệu suất cao nhất ở tần số cộng hưởng và hoạt động ổn định nhất. Tần số cộng hưởng của đầu dò sẽ thay đổi do lắp ráp hoặc lão hóa khi làm việc. Nếu tần số chỉ trôi và không thay đổi nhiều thì tín hiệu theo dõi tần số có thể điều khiển bộ tạo tín hiệu sao cho tần số của bộ tạo tín hiệu phù hợp với tần số cộng hưởng của đầu dò trong một phạm vi nhất định, để bộ tạo sóng hoạt động ở trạng thái tốt nhất.